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金实力浅谈超精密研磨技术发展趋势

日期:2016-10-11 / 人气:

  金实力概述最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、 应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的Nanopol i -100 智能型纳米级抛光机,结合该领域的最新研究成果,提出了其向高精度、 高效率发展的方向。

  

  金实力研磨是一种重要的精密和超精密加工方法。其定义可以表述为:利用磨具通过磨料作用于工件表面,进行微量加工的过程。 根据加工方法的机理和特点,最基本的加工方法可以分为: 去除加工、 结合加工和变形加工3 大类4。然而,在最新的多性能复杂形态的元件加工中,往往是上述几种加工法的复合作用。

  1微量材料去除的机械作用及化学作用设想

  材料去除的最小单位是1 层原子的话,那么,最基本的材料去除是将表面的一层原子与内部的原子切开。 机械加工必然残留有加工变质层,加工中还伴随着化学反应等复杂现象56,材料去除的原理是从一层原子到数层原子乃至数十层原子几种状态的复合。

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